cf4,四氟化碳国家标准

电子工业用气体四氟化碳本标准规定了瓶装电子工业用气体—四氟化碳的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。本标准适用于氟和碳直接反应化合生成并经过纯化处理的四氟化碳产品。它主要用于微电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀和化学气相，以及太阳能硅片生产工艺。分子式：CF4分子量：88.00（按2003年国际原子相对质量）。《中华人民共和国标准化法》第二条本法所称标准（含标准样品），是指农业、工业、服务业以及社会事业等领域需要统一的技术要求。标准包括国家标准、行业标准、地方标准和团体标准、企业标准。国家标准分为强制性标准、推荐性标准，行业标准、地方标准是推荐性标准。强制性标准必须执行。国家鼓励采用推荐性标准。

四氟化碳(Carbon tetrafluoride),分子式是CF4,亦称全氟化碳 中文名称:四氟化碳 中文别名:四氟甲烷英文名称:carbon tetrafluoride英文别名:TetrafluoromethaneCAS:75-73-0EINECS:200-896-5分子式:CF4分子量:88物化性质:- 熔点:-184℃相对密度：1.603溶解性:不溶于水用途:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂 熔点-183.6℃，沸点-128.1℃，液体密度（-128℃）1.603g/cm3，液体折光率（-173℃）1.515，固体转变点72.2K，临界温度-45.67℃，临界压力3.73MPa，临界密度7.1dm3/mol，临界压缩因子：0.279van der Waals面积（cm·mol）：4.600×10an der Waals体积（cm·mol）：27.330Lennard-Jones参数（A）：4.5306Lennard-Jones参数（K）：158.90气相标准熵(J·mol·K) ：261.40气相标准热熔(J·mol·K)：61.05标准摩尔生成焓-932.31 kJ/mol，标准摩尔生成熵261.04J/（mol﹒K），标准摩尔自由能-929.84 kJ/mol，标准摩尔生成自由能-887.41 kJ/mol。市场价格：约260元/千克 1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。

长期使用或者过期的六氟化硫气体杂质会富集，而且回收设备对气体中的杂质譬如:CF4、矿物油、空气是没办法很好的净化。如果循环使用的SF6气体质量不过关，先别说达不到你要的六氟化硫的效果，可能还会有损设备。 最好把这些气体处理掉~换上新气，可以找下回收六氟化硫余气，废旧的过期的六氟化硫回收处理的厂家卖掉吧。你的过期的六氟化硫千万不要排放到大气中，他的温室效应是二氧化碳的25000倍啊。 六氟化硫回收处理的看看

EDHC-RF300C型SF6气体回收净化提纯充气系统概述

EDHC-RF300C型SF6气体回收净化提纯充气系统用于将空气和CF4、低氟化物分解物从SF6中分离出来。分离系统是基于高压无油直接液化原理对所再生处理的SF6气体进行初步液化过滤，再依靠低温冷却系统对分离器中的气体/液体的混合体进一步液化固化。氮气等慢慢地经过分离被排出，而SF6气体则被再次液化和保留。SF6气体可被回收和再利用，回收率超过99%。回收车配备有多重的高效聚合过滤器、活性炭过滤器、酸性物质过滤器和微粒过滤器，气体被过滤处理至0.1微米水平以除去灰尘和微粒物质。
我公司专门设计的全功能气体专用处理站可用于组合电器制造厂的生产车间。它能把不合格SF6气体对其进行净化，冷冻固化处理达到国家新气标准，将达标的SF6气体回充到绝缘容器中。


主要特点

◆采用进口无油压缩机，对SF6气体回收、回充、净化、液化储存。
◆干燥处理系统，可滤除SF6气体中的水分、分解产物等。
◆专用过滤技术可以将SF6气体中低氟化物吸附。
◆SF6气体冷冻液化再固化提纯技术可使回收的SF6气体的纯度达到新气标准。
◆该压缩机高压无油无泄漏。
◆可对二路以上气体进行回收，快速抽取SF6气室中气体。
◆回收和回充采用两个独立的系统，防止废气和净化处理后的气体产生交叉污染。
◆PLC自动控制系统。


产品标准要求

◆要求回收装置结构紧凑、全功能，能够完成一台大型SF6回收装置所有功能 ，包括气体的过滤和干燥、固化提纯。
◆整个回收装置包括：真空泵、压缩机、固化提纯装置、液氮罐160L、气体液化凝结器、各种过滤系统、净化装置、存储系统以及必备的阀门和PLC自动控制部件。
◆净化后的SF6气体应达到国家规定标准。见国标《GB/T12022-1989》
指标名称 指标
四氟化碳（CF4） ≤0.04%
空气（N2+O2） ≤0.04%
湿度（H2O） ≤5μg/g
酸度（以HF计） ≤0.2μg/g
可水解氟化物（以HF计） ≤1.0μg/g
矿物油 ≤3μg/g
纯度（SF6） ≥99.8%(质量分数)
生物毒性 无毒


主要功能

◆从SF6设备中回收SF6气体，并测定真空度。
◆将抽取气体液化储存
◆SF6设备检修完毕，抽走空气和水分
◆将储存的SF6气体循环干燥净化固化提纯。（过滤气体中的杂质、水份、CF4、HF、SF6分解物、矿物油、粉尘及絮状颗粒）
◆将储存的SF6汽化，再输送到SF6设备
◆将气体回收储罐及管道、气瓶加热，抽真空至30--100Pa
◆在气瓶、储罐及外部储罐之间输送液态SF6
◆可对处理过程中的SF6气体进行取样检测分析。
◆可再生大容量过滤器。
◆抽真空的排出物可经过碱洗吸收，无毒排放。吸附剂碱洗深埋。
◆自动程序保护控制 ，自动手动控制可选可视，操作简单明了。
◆高压直接液化，无需外加增压器。
◆储气量300KG，可扩展外接气瓶，气罐。
◆气瓶电子称重。
◆各种开关电气设备专用接头。
◆法国无压差电磁阀，无一般电动阀在突然断电情况下的无法关闭及延迟关闭的危险。


技术参数

◆储罐容积： 300L
◆工作压力： 5.0MPa（200L）
◆净化提纯罐：160L，5.0MPa 带SF6称重装置 （120L）
◆液氮罐：160L （100L）
◆真空泵：44-64m3/h
◆极限真空：0.06Pa 德国 380V
◆SF6压缩机：14 m3/h 42bar 美国 7.5KW
（ 或6-12 m3/h 50bar 美国 2.2-4KW）
◆凝结器：2.2KW
◆最大功率：22KW
◆
◆再生率；95%
◆数字真空计：德国 0—1000mbar
◆气瓶加热装置；6KW
◆冷凝系统：法国MANUERACP 主机 2.2KW。辅助回收。
◆电子称重；1台
◆电压：380V 50Hz三相交流和220V 50Hz单相交流,
◆过滤: <1微米颗粒、分解物吸附、酸性物吸附、微水吸附干燥、过滤器, 再生式可更换。4只
◆絮状物过滤器: 2只 0.5 微米
◆三菱PLC自动 控制系统
◆法国电磁阀
◆德国DILO 自封接口
◆体积2500*1620*1950mm
◆重量2000KG（1800*1000*1500* 1200KG）
◆附件: 输送管(气态和液态输送管) 2根 各5米
◆SF6开关回收管：2根，10米、15米，带自封阀门
◆SF6开关接头： 1套14只
◆SF6防护服（包含 滤毒罐及全密封呼吸器）（选择）
◆维护工具：1套